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softX-raytransmissio相关论文
13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计
基于严格的矢量耦合波方法,结合纳米级光栅实际制作工艺,定量分析了在13.4nm软X射线(TE偏振)正入射条件下,光栅材料、厚度、占空比、梯形......
期刊
干涉光刻
软X射线透射光栅
严格耦合波方法
复折射率
衍射效率
interference lithography
soft X-ray transmissio
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